Wafer Scribing and Singulation

532nm

355nm

20W @ 70kHz

15W @ 50kHz

10W @ 50kHz

2W @ 50kHz

10W @ 70kHz

8W @ 50kHz

5W @ 50kHz

1W @ 50kHz

400µJ @ 50kHz

300µJ @ 50kHz

200µJ @ 50kHz

40µJ @ 50kHz

200µJ @ 50kHz

150µJ @ 50kHz

100µJ @ 50kHz

20µJ @ 50kHz

10-15ns

1030nm

515nm

343nm

200W @1MHz
150W @1MHz
100W @ 1MHz
50W @ 1MHz
8W @ 1MHz

100W @1MHz
75W @ 1MHz
50W @ 1MHz
25W @1MHz
6W @1MHz

60W @1MHz
50W @ 1MHz
25W @1MHz
10W @ 1MHz
4W @1MHz

1.4mJ @100kHz
1mJ @100kHz
700µJ @ 100kHz
250µJ @ 100kHz
8µJ @ 100kHz

700µJ @100kHz
500µJ @ 100kHz
350µJ @ 100kHz
125µJ @ 100kHz
6µJ @ 100kHz

420µJ @100kHz
350µJ @ 100kHz
180µJ @ 100kHz
60µJ @ 100kHz
4µJ @ 100kHz

500fs – 5ps

532nm

355nm

35W @ 40kHz

25W @ 200kHz

48W @ 40kHz

40W @ 200kHz

35W @ 40kHz

12W @ 200kHz

28W @ 40kHz

7W @ 200kHz

16W @ 40kHz

4W @ 200kHz

~700µJ @ 40kHz

~125µJ @ 200kHz

~1mJ @ 40kHz

~200µJ @ 200kHz

~700µJ @ 40kHz

~60µJ @ 200kHz

~560µJ @ 40kHz

~35µJ @ 200kHz

~320µJ @ 40kHz

~20µJ @ 200kHz

~85ns @ 40kHz

~340ns @ 200kHz

~65ns @ 40kHz

~250ns @ 200kHz

~60ns @ 40kHz

~185ns @ 200kHz

~70ns @ 40kHz

~220ns @ 200kHz

~95ns @ 40kHz

~250ns @ 200kHz